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掃描電鏡的兩只“眼睛” —— 背散射模式和二次電子模式

 更新時(shí)間:2020-07-21 點(diǎn)擊量:7281

飛納電鏡為客戶配備了二次電子成像模式,使得對(duì)樣品立體外觀形貌的觀察又上了一個(gè)臺(tái)階。飛納電鏡擁有了兩只觀測(cè)樣品的“眼睛”——背散射探測(cè)器(BSD)和二次電子探測(cè)器(SED),不管您有什么觀測(cè)需求,這兩只“眼睛”都可以滿足您絕大部分的要求。

 

二次電子模式

 

飛納臺(tái)式掃描電鏡內(nèi)部可配備二次電子探頭,收集從樣品中被轟擊出的二次電子。這些二次電子主要來源于距樣品 1~10nm 的表面,由于入射深度小,入射電子的作用區(qū)域與入射束的束斑尺寸差別不大,所以相同條件下,二次電子的分辨率是優(yōu)于背散射圖像的。而且,由于二次電子對(duì)樣品傾斜角度更敏感,二次電子圖像可以呈現(xiàn)更好的立體形貌,如下圖所示。

 

  

 

可以看到錫球在二次電子成像下,周圍一圈是發(fā)亮的。這是由于二次電子是低能量的電子,它們的產(chǎn)生范圍很淺, 所以樣品上任意的傾斜、凹坑、凸起等幾何形貌都會(huì)影響二次電子的產(chǎn)生數(shù)量,從而出現(xiàn)立體感較強(qiáng)的明暗成像。

 

 

 

背散射電子模式

 

背散射電子模式作為傳統(tǒng)的成像方式,雖然立體成像上不如二次電子,但也有它*的優(yōu)點(diǎn)。背散射探頭一般分為四部分,各自采集受到樣品原子核反射回來的背散射電子。背散射電子是入射電子經(jīng)樣品中原子核的散射產(chǎn)生的,其產(chǎn)額與樣品的原子序數(shù)呈單調(diào)遞增關(guān)系,因此,背散射像能反映觀察區(qū)域輕、重元素的分布。如下圖所示。

 

 

 

圖片中錫球上的黑色物質(zhì)是碳一類的污染物,可以看到背散射圖像用亮暗對(duì)比,清晰地區(qū)分出了錫球上的污染物,而二次電子模式就無法做到這一點(diǎn)。

 

在一定的加速電壓下,背散射電子的產(chǎn)生量隨著樣品原子序數(shù)的增高而增加,其增加量比二次電子要敏感許多,如下圖所示。所以,背散射電子不僅可以用于形貌分析,還可以用于顯示樣品化學(xué)組分的組成特征,在一定范圍內(nèi)對(duì)試樣表面粗略地進(jìn)行化學(xué)成分分布情況分析。

 

 

 

根據(jù)自身的需要,選擇合適的“眼睛”,會(huì)讓我們的樣品形貌更直觀。飛納臺(tái)式掃描電鏡可以提供背散射電子模式和二次電子模式的混合像,通過設(shè)置混合比例,將兩者的優(yōu)勢(shì)同時(shí)發(fā)揮出來。

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